Book/Report

FZJ-2018-04131

http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png Charakterisierung von dünnen Schichten und von Gläsern mit Röntgenreflexion und Röntgenfluoreszenzanalyse bei streifendem Einfall

Hüppauf, M. (Corresponding author)FZJ*

1993
Forschungszentrum Jülich GmbH Zentralbibliothek Verlag Jülich

Please use a persistent id in citations: http://hdl.handle.net/2128/19308

Report No.: Juel-2730

Abstract: In dieser Arbeit wurden etliche oxidische Deckschichten auf Glassubstraten und verschiedene Gläser mit $\underline{Röntgenreflexion}$ $\underline{und}$ $\underline{Röntgenfluoreszenzanalyse}$ bei streifendem Einfall charakterisiert. Dabei wurde bei der Charakterisierung der Schichtsysteme die Beschreibung der $\underline{Rauhigkeit}$ in verschiedenen Modellen untersucht. Die mit Hilfe der Röntgenmethoden gefundenen Materialparameter Schichtaufbau, Dichte, Schichtdicke, Rauhigkeit und Tiefenprofil wurden mit einer Reihe von Ergebnissen anderer Analysemethoden verglichen. Dabei zeigte sich in den meisten Fällen gute Übereinstimmung. Als herausragenden Beitrag zur Schichtcharakterisierung steuern beide Röntgenmethoden die $\underline{absolute}$ $\underline{Bestimmung}$ $\underline{der}$ $\underline{Dichte}$ bei. Darüber hinaus ist mit der Röntgenreflexion eine sehr genaue Analyse der $\underline{Schichtdicke}$ möglich. Es wurde außerdem gezeigt, daß die Untersuchung von Tiefenprofilen stark verdünnter Metallionen in einer Glasmatrix mit Röntgenfluoreszenzanalyse bei streifendem Einfallin Verbindung mit Röntgenreflexion durchgeführt werden kann. Im Vergleich mit anderen Methoden mit denen ebenfalls Tiefenprofile gemessen werden können, wie z. B. SIMS, SNMS und RBS, ist die Röntgenfluoreszenzanalyse relativ aufwendig. Sie weist jedoch dafür eine Reihe von Vorteilen auf. Diese Vorteile sind: zerstörungsfreie Analyse, keine Matrixeffekte, keine Verfälschung durch hydratisierte Bereiche an der Oberfläche, keine Aufladungseffekte, absolute Bestimmung der Dichte und hohe Tiefenauflösung in oberflächennahen Bereichen. i) Für die $\underline{methodischen}$ $\underline{Aspekte}$ dieser Arbeit ergeben sich im einzelnen folgendePunkte: 1) Die $\textbf{Reflektivität}$ von rauhen Grenzflächen im Bereich harter Röntgenstrahlen kann für eine Vielzahl von Grenzflächen und Materialien im Rauhigkeitsmodell nach $\underline{Névot}$ $\underline{und}$ $\underline{Croce}$ beschrieben werden. Voraussetzung dafür ist, daß die Oberfläche nicht zu rauh und das Material nicht zu dicht ist. Letzteres beinhaltet auch den Aspekt der Absorption der Röntgenstrahlung im Material. Diese qualitativen Angaben müssen im einzelnen noch quantifiziert werden. In dieser Arbeit wurde anhand einer Platinschicht (ca. 21 g/cm$^{3}$) mit einer rms-Rauhigkeit von ca. 30 $\mathring{A}$ gezeigt, daß bei diesen Materialparametern die Reflexionskurve im Modell nach Névot und Croce nicht mehr ohne weiteres beschrieben werden kann. Eine Anpassung der Reflexionskurven dieses Schichtsystems gelang im Modell der $\underline{graduellen}$ $\underline{Übergangsschicht}$ $\underline{mit}$ $\underline{gaußförmigen}$ $\underline{Dichteprofil}$. Die Anpassungen der Reflexionskurven aller anderen Schichtsysteme im Modell der graduellen Übergangsschicht zeigen perfekte Übereinstimmung mit der Auswertung im Modell nach Névot und Croce. Diese Übereinstimmung bestärkt die Annahme einer rms-Rauhigkeit für die Beschreibung [...]

---

Contributing Institute(s):

1. Publikationen vor 2000 (PRE-2000)

Research Program(s):

1. 899 - ohne Topic (POF3-899) (POF3-899)

---

Database coverage:

---